超純水方案設(shè)計

哈爾濱水處理設(shè)備公司為您介紹超純水方案設(shè)計，需要充分了解客戶的需求，選擇正確的工藝，優(yōu)良的設(shè)備制造和標(biāo)準(zhǔn)的日常維護(hù)。其中客戶的需求是依據(jù)，工藝的選擇是專業(yè)，設(shè)備的制造是核心，日常的維護(hù)是關(guān)鍵。

一、了解客戶的需求和基本情況。常見需要了解的情況如下：

原水進(jìn)水水質(zhì)類型或標(biāo)準(zhǔn)：例如市政自來水、地表水、地下水、河水、湖水等，有具體的水質(zhì)檢測報告較好。

純水出水水質(zhì)要求：電導(dǎo)率或者電阻率的標(biāo)準(zhǔn)，有無特殊指標(biāo)的要求。

純水出水水量要求：根據(jù)人均用水量、生產(chǎn)每小時用水量、每天高峰值用水量等多種條件綜合考慮,T/H或者T/D表示。

純水的工藝要求：工藝不一樣價格也不一樣，成熟工藝為主。

純水的應(yīng)用行業(yè)：不同行業(yè)對純水的水質(zhì)要求標(biāo)準(zhǔn)不同，需要跟客戶確認(rèn)應(yīng)用場景。重要，易忽略！

設(shè)備安裝環(huán)境的情況：施工現(xiàn)場的進(jìn)出水通道及分布，電源安排，實際安裝場地大小等。

結(jié)合客戶提供的原水水質(zhì)情況，純水出水水質(zhì)，出水水量，工藝要求，行業(yè)應(yīng)用場景，場地情況，特殊需求等，設(shè)計出純水的設(shè)計方案。

二、根據(jù)客戶的需求和基本情況，確定方案設(shè)計的工藝流程。常見的工藝流程如下：

三、根據(jù)工藝流程，確定設(shè)備的配置清單。參考案例

四、使用培訓(xùn)及日常維護(hù)的規(guī)范：參見具體的設(shè)備使用說明書及企業(yè)培訓(xùn)。

客戶案例

客戶案例：蘇州某電子行業(yè)企業(yè)

客戶的基本需求和情況如下：

進(jìn)水：市政自來水

出水：電阻率≥18MΩ*cm 25℃超純水，2T/H出水量

工藝：協(xié)商采用成熟的RO+EDI+混床工藝

行業(yè)：電子半導(dǎo)體行業(yè)

場地：進(jìn)出水，電源，空間符合要求。

根據(jù)客戶情況，得到基本的設(shè)計依據(jù)：

原水水質(zhì)：當(dāng)?shù)厥姓詠硭?/span>

設(shè)計溫度：5～40℃

原水流量：≥6T/H

進(jìn)水壓力：0.3-0.6MPa

產(chǎn)水流量：≥2T/H

反滲透系統(tǒng)回收率：≥65%

產(chǎn)水要求：電阻率≥18MΩ*cm 25℃

控制方式：全自動控制

根據(jù)客戶情況，設(shè)計的工藝流程如下：

余氯還原--原水箱--輸送泵--多介質(zhì)過濾--軟化器--保安過濾器（5μm）--中轉(zhuǎn)水箱（阻垢劑）--增壓泵--一級RO--一級純水箱（PH調(diào)節(jié)）--增壓泵--二級RO--二級純水箱--輸送泵--精密過濾器（5μm）--EDI--UV殺菌器--超純水箱--輸送泵--TOC殺菌器--拋光樹脂--精密過濾器（0.22μm）--使用點

根據(jù)工藝流程，確定設(shè)備的配置清單如下：

設(shè)備主要部件介紹

1.原水箱

由于進(jìn)水壓力不是很穩(wěn)定，將造成流速不穩(wěn)定而影響過濾效果，同時為了避免對預(yù)處理器造成沖擊，所以需配置原水箱以緩沖、平衡水壓。配有一套液位控制閥，其中一組到高水位時，通知進(jìn)水電磁閥關(guān)閉，防止水溢出，到低水位時進(jìn)水電動閥就打開補(bǔ)水；另一組當(dāng)?shù)降退粫r，通知原水泵停止工作，以防止原水泵缺水而空轉(zhuǎn)，重新補(bǔ)水到高水位時，原水泵才可重新啟動，避免其頻繁動作。原水流量計算：原水流量=2倍的一級RO流量=3倍的二級RO/EDI/終端出水量。原水箱設(shè)計水箱約等于一級RO出水量或者終端出水量。

2.原水泵（輸送泵）

主要用于運行時克服預(yù)處理器的阻力，同時提供足夠的水流量對預(yù)處理器進(jìn)行反洗。通過原水箱的低水位閥可防止其缺水而空轉(zhuǎn)。輸送泵一般選用臥式多級離心泵CHL（無腐蝕液體）/CHLF（輕度腐蝕液體），型號參考泵供應(yīng)商3公斤壓力（揚程H=30M）下能達(dá)到輸送能力（每小時流量m3/h）的型號。

3.反滲透膜進(jìn)水要求（前處理的主要作用）

SDI（淤泥密度指數(shù)）<5

濁度<1 NTU

溫度<45℃

Fe,Mn<0.1mg/L

SDI測定方法:（SDI是指15分鐘在0.45μm濾膜上過濾的泥沙重量，按照膜設(shè)計手冊，要求此值必須小于5）。用直徑為47mm、平均孔徑0.45μm的微孔濾膜，在0.21MPa的壓力下過濾水樣，記錄開始濾過500mL水樣所需時間t0，繼續(xù)過濾15min后，再記錄過濾500mL水樣所需時間t15。用下式計算SDI：

SDI=（1-t0/t15）x 100/15

在上述測定過程中，水中粒徑大于0.45μm的顆粒、膠體和細(xì)菌大都被截留在膜面上，引起膜的透水速度下降，過濾同等體積的水樣所需時間延長，所以t0/t15<1。水中的懸浮物和膠體物質(zhì)越多，t0/t15值越小，SDI越大（其極限值為6.7）。

4.多介質(zhì)過濾器

多介質(zhì)過濾器是利用一種或幾種過濾介質(zhì)，在一定的壓力下把濁度較高的水通過一定厚度的粒狀或非粒材料，從而有效的除去懸浮雜質(zhì)使水澄清的過程。用于過濾的多孔材料稱為濾料，石英砂是常見的濾料，濾料有粒狀，粉狀和纖維狀多種。常用濾料有石英砂、無煙煤、活性炭、磁鐵礦、拓榴石、多孔陶瓷、塑料球等。

多介質(zhì)過濾器主要由過濾器體、配套管線和閥門構(gòu)成。其中過濾器體主要包括以下組件：簡體；布水組件；支撐組件；反洗氣管；濾料；排氣閥(外置)等。

本系統(tǒng)的多介質(zhì)過濾器主要為無煙煤（碳）+石英砂。過濾及反洗原理參考單獨的石英砂和活性炭過濾器。濾料更換周期1-2年。

罐體大小設(shè)計：含多介質(zhì)過濾器，石英砂過濾器，活性炭過濾器，軟水器。

過濾罐計算方法：πR^2*v(濾速15-20m/H）=流量（T/H）,通過流量反推罐子體積和型號，或者直接按照供應(yīng)商的數(shù)據(jù)選擇罐體。

根據(jù)計算出的罐體半徑選擇合適的型號。參考本方案超純水流量2T/H,反推一級RO的出水流量為3T/H，前處理流量約等于6T/H。

根據(jù)上述公式，按照18m/H濾速，得到半徑為0.325m。選擇型號罐體2475（φ600*1900mm），底邊直徑24英寸=609.6毫米（1英寸=25.4毫米），罐體高度為1905毫米。

根據(jù)罐體大小（填充2/3體積），計算出各材料的使用量。

用量=πR^2*2/3H*材料系數(shù)，石英砂*1（致密），活性炭*0.6（蓬松），樹脂*0.8（一般），石英砂50KG/包，樹脂20KG/25L/包，活性炭25KG/包。

石英砂用量=3.14*0.3*0.3*2/3*1.9*1*1000/50=7.2（8包）

活性炭用量=3.14*0.3*0.3*2/3*1.9*0.6*1000/25=8.6（9包）

樹脂用量=3.14*0.3*0.3*2/3*1.9*0.8*1000/20=14.3(15包，358L)

4.1石英砂過濾器

石英砂過濾器選用濾料為精制石英砂，在過濾層上部放置較輕粒徑較小的石英砂，下部為粒徑較大的石英砂，這樣可以充分發(fā)揮整個濾層的效率、提高截污能力。機(jī)械過濾器主要用于去除水中的顆粒、膠體、懸浮物、濁度等，使出水濁度<1NTU，SDI≤5。可通過控制閥進(jìn)行正反洗，以沖洗掉其表面的污物，防止其堵塞，恢復(fù)其過濾能力。

過濾

當(dāng)系統(tǒng)處于過濾狀態(tài)時，未經(jīng)過濾的水通過布水器，以接近平流的狀態(tài)到達(dá)過濾器內(nèi)的填料層。當(dāng)水流過填料層時，雜質(zhì)被截留在填料層內(nèi)。過濾器底部有過濾集水器，將過濾后的水均勻地收集并流出。平流過濾，決定過濾器可以在高的流速下過濾，仍可達(dá)到較好的過濾效果。

反洗

隨著雜質(zhì)在填料層中的不斷聚積，壓頭損失將不斷增大。當(dāng)壓頭損失到達(dá)一定的設(shè)定限度時（當(dāng)過濾器進(jìn)出水壓差比剛開始運行時增加了0.07MPa），將系統(tǒng)轉(zhuǎn)換至反洗狀態(tài)，以清洗聚積起來的雜質(zhì)，避免石英砂長時間運行而板結(jié)成塊。反洗時可通入壓縮空氣，以加強(qiáng)反洗效果。

濾料更換

當(dāng)出水濁度＞1NTU時，需查找原因，看是否需要更換填料。視情況，在連續(xù)運行的條件下，填料一般二年左右更換一次。

特性

*能夠有效地去除原水中的膠體、懸浮物；

*具有獨特的均勻布水方式，能夠阻留濾料均衡濾層阻力防止偏流，使過濾器達(dá)到好效果；

*填料選用優(yōu)質(zhì)濾料，濾料不均勻系數(shù)均為2-3以保證良好的過濾效果，且不會出現(xiàn)反洗亂層現(xiàn)象；

*選用較低的運行流速，以適應(yīng)將來水質(zhì)變壞的可能性；

4.2活性炭過濾器

由于反滲透膜對余氯、有機(jī)物十分敏感，所以必須配置活性炭吸附余氯、有機(jī)物，以滿足反滲透膜的給水要求。活性炭具有極強(qiáng)的吸附過濾性能，對水中的余氯、異色、異味、有機(jī)物、微生物等具有很強(qiáng)的吸附作用。

經(jīng)過活性炭過濾器處理后，水質(zhì)可以達(dá)到如下指標(biāo)：CODMn≤2ppm，余氯＜0.1ppm。

吸附原理

在活性炭顆粒表面形成一層平衡的表面濃度，再把有機(jī)物質(zhì)雜質(zhì)吸附到活性炭顆粒內(nèi)，使用初期的吸附效果很高。但時間一長，活性炭的吸附能力會不同程度地減弱，吸附效果也隨之下降。所以，活性炭應(yīng)定期清洗、再生或更換。

去除余氯原理

活性炭多孔部分的含氧官能團(tuán)，與水中帶有氧化性的次氯酸根發(fā)生快速的氧化、還原反應(yīng)，去除帶有氧化性的次氯酸根。

過濾

當(dāng)系統(tǒng)處于過濾狀態(tài)時，未經(jīng)過濾的水通過布水器，以接近平流的狀態(tài)到達(dá)過濾器內(nèi)的填料層。當(dāng)水流過填料層時，雜質(zhì)被截留在填料層內(nèi)。過濾器底部有過濾集水器，將過濾后的水均勻地收集并流出。平流過濾，決定過濾器可以在高的流速下過濾，仍可達(dá)到較好的過濾效果。

反洗

隨著雜質(zhì)在填料層中的不斷聚積，壓頭損失將不斷增大。當(dāng)壓頭損失到達(dá)一定的設(shè)定限度時，將系統(tǒng)轉(zhuǎn)換至反洗狀態(tài)，以清洗聚積起來的雜質(zhì)。

填料更換

由于活性炭過濾器的反洗僅能洗掉活性炭表面的污染物，而不可能洗掉吸附在炭粒內(nèi)孔中的大量污染物。所以當(dāng)活性炭內(nèi)孔吸附飽和時，出水游離性余氯≥0.1ppm時，應(yīng)考慮更換活性炭，建議活性炭更換周期為一年。

特性

*能夠有效地去除原水中的余氯、異色、異味、有機(jī)物、微生物該指標(biāo)要解釋具體；（活性炭的比表面積大，碘吸附能力900-1100mg/g）

*具有獨特的均勻布水方式，能夠阻留濾料均衡濾層阻力防止偏流，使過濾器達(dá)到好效果；

*填料選用優(yōu)質(zhì)濾料，濾料不均勻系數(shù)均為2-3以保證良好的過濾效果，且不會出現(xiàn)反洗亂層現(xiàn)象；

*選用較低的運行流速，以適應(yīng)將來水質(zhì)變壞的可能性。

5.軟化器

天然水中含有各種鹽類，這些鹽類溶解在水中形成離子類物質(zhì)。即陰離子和陽離子，水中的離子類物質(zhì)在加熱或與其它溶質(zhì)（如洗滌劑）接觸的過程中會結(jié)合成不溶于水的物質(zhì)，通常水中的鈣，鎂等離子會形成水垢，給生產(chǎn)、日常生活帶來諸多不便和危害，在反滲透系統(tǒng)中會導(dǎo)致RO膜結(jié)垢。

軟化，顧名思義即降低水的硬度，由于水的硬度主要由鈣，鎂形成及表示，故采用陽離子交換樹脂，將水中的Ca2+，Mg2+（形成垢的主要成分）置換出來，隨著樹脂內(nèi)Ca2+，Mg2+的增加，樹脂去除Ca2+，Mg2+的功能逐漸降低，因此，當(dāng)軟化水設(shè)備使用一段時間后，需用鹽再生部分對樹脂進(jìn)行再生處理，恢復(fù)樹脂的效能，提高樹脂的使用壽命。

當(dāng)原水經(jīng)過鈉（陽）離子交換樹脂時，水中的Ca2+，Mg2+等陽離子與樹脂中的Na2+進(jìn)行交換，降低了水的硬度，使水質(zhì)得到軟化。通過離子交換樹脂上的鈉離子與水中的鈣、鎂等離子進(jìn)行交換，從而降低水中硬度，鈣、鎂等離子的濃度，從而達(dá)到化工和鍋爐等生產(chǎn)所需求的水質(zhì)硬度標(biāo)準(zhǔn)。

出水硬度≤0.03mmol/l，工作壓力0.3-0.6MPa。

6.保安過濾器（精密過濾器的一種，精度5μm）

為了保證反滲透膜元件不被懸浮物顆粒所傷害，系統(tǒng)設(shè)置保安過濾器，過濾精度為5μm，內(nèi)裝聚丙烯濾芯(熔噴PP)，外殼為不銹鋼結(jié)構(gòu)。當(dāng)濾器進(jìn)出口壓差達(dá)到0.75MPa時需要更換濾器內(nèi)濾芯。在正常工作條件下，濾芯可維持3-6個月以上的使用壽命。

備注：保安過濾器和微孔過濾器都屬于精密過濾器。精密過濾器如果用在反滲透前面，就叫做保安過濾器，保安過濾器也就是保障進(jìn)入膜的進(jìn)水安全，一般精度選為5微米。如果用于反滲透后面或超淺膜的后面，精密過濾器又稱為微孔膜過濾器，這時的過濾器精度通常在1微米以下（常用0.1/0.22μm），主要是除去通過紫外線殺菌器后，攔截水中的細(xì)菌的雜質(zhì)。

7.增壓泵

提升RO進(jìn)水壓力，滿足RO裝置運行需要的進(jìn)水壓力和流量。高壓泵進(jìn)水口裝壓力開關(guān)，壓力低時報警及停泵。出水口裝高壓開關(guān)，壓力高時報警及停泵。增壓泵一般選用立式多級離心泵CDL（無腐蝕液體）/CDLF（輕度腐蝕液體），型號參考泵供應(yīng)商10公斤壓力（揚程H=100M）下能達(dá)到輸送能力（每小時流量m3/h）的型號。

8.反滲透裝置(一級RO和二級RO)

將純水與含有溶質(zhì)的溶液用一種只能通過水的半透膜隔開，此時，純水側(cè)的水就自發(fā)的透過半透膜，進(jìn)入溶液一側(cè)，溶液側(cè)的水面升高，這種現(xiàn)象就是滲透RO【Reverse Osmosis】。當(dāng)液面升高至一定高度時，膜兩側(cè)壓力達(dá)到平衡，溶液側(cè)的液面不再升高，這時，膜兩側(cè)有一個壓力差，稱為滲透壓。如果給溶液側(cè)加上一個大于滲透壓的壓力，溶液中的水分子就會被擠壓到純水一側(cè)，這個過程正好與滲透相反，我們稱之為反滲透。我們可以從反滲透的過程看到，由于壓力的作用，溶液中的水分子進(jìn)入純水中，純水量增加，而溶液本身被濃縮。

當(dāng)原水以一定的壓力被送至反滲透膜時，水透過膜上的微小孔徑，經(jīng)收集后得到純水，而水中的雜質(zhì)如可溶性固體、有機(jī)物、膠體物質(zhì)及細(xì)菌等則被反滲透膜截留，在截流液中濃縮并被去除。一級反滲透可去除原水中97%以上的溶解性固體，99%以上的有機(jī)物及膠體，幾乎100%的細(xì)菌。

RO設(shè)備是目前世界上水處理設(shè)備中制取純水的設(shè)備之一，其運行費用低、經(jīng)濟(jì)、操作方便、運行可靠，是用戶首選的制取純水設(shè)備。

設(shè)備的生產(chǎn)能力是在原水在25℃、標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)狀況下的值。每次造水前后及運行中將自動大流量膜，可延長其使用壽命。

反滲透膜元件的設(shè)計通量不大于各膜元件制造廠商《導(dǎo)則》規(guī)定的大通量值，選擇合理的排列組合，保證膜元件正常運行和合理的清洗周期。

反滲透裝置的給水加藥種類及加藥點，化學(xué)清洗液的選擇根據(jù)給水水質(zhì)和所選用反滲透裝置膜組件的特性確定。乙方提出所需藥品種類和要求。

反滲透裝置各段給水及濃水進(jìn)出水總管上設(shè)有足夠的接口及閥門，以便清洗時與清洗液進(jìn)出管相連。

反滲透濃水排水裝流量控制閥，以控制水的回收率。

反滲透裝置為全自動程序控制，并設(shè)有延時程序?qū)Ψ礉B透膜自動沖洗。

反滲透裝置產(chǎn)品水管設(shè)取樣點，取樣點的數(shù)量及位置能有效地診斷并確定系統(tǒng)的運行狀況。

反滲透膜組件安裝在組合架上，組合架上配備全部管道及接頭，包括所有的支架、緊固件、夾具及其它附件。

反滲透組合架的設(shè)計滿足其廠址的抗震烈度要求和組件的膨脹要求。

反滲透系統(tǒng)測量配置點及數(shù)量等滿足本系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定、可靠運行需要。儀表采用儀表盤集中布置。

反滲透各段進(jìn)口、一段排水、濃水出口裝設(shè)壓力指示表。

反滲透總產(chǎn)品水及濃水排水裝設(shè)流量計。

反滲透產(chǎn)品水管裝有在線水質(zhì)顯示的電導(dǎo)表。

本方案中一級RO按2∶1排列，采用膜串聯(lián)排列方式，設(shè)計產(chǎn)水量為3m3/h，回收率75%左右；二級RO按1∶1排列，采用膜串聯(lián)排列方式，設(shè)計產(chǎn)水量為2m3/h，回收率80%左右。多段式及多級反滲透組合模式未來單獨介紹。

9.RO純水箱

用于儲存反滲透純水。配有一套液位控制閥，當(dāng)水箱液位到達(dá)高液位時發(fā)出信號，通知一級反滲透裝置停止工作，防止水溢出，當(dāng)水箱液位到中液位控制閥以下時，反滲透裝置就自動啟動進(jìn)行補(bǔ)水。同時起到為后端設(shè)備穩(wěn)定水壓的作用。

10.EDI增壓泵

抽取二級RO水箱中的水輸送到后續(xù)處理設(shè)備，提供滿足后續(xù)設(shè)備正常運行需要的壓力和流量。水泵受到水箱液位連鎖控制，當(dāng)水箱處于低液位時，水泵停止運轉(zhuǎn)，避免水泵在無水狀態(tài)下運轉(zhuǎn)造成損壞。一般選用臥式多級離心泵CHL（無腐蝕液體），型號參考泵供應(yīng)商略大于3，不超過5公斤壓力,能達(dá)到輸送能力（每小時流量m3/h）的型號。

11.精密過濾器（5μm）

安裝于EDI裝置進(jìn)水端前，用于攔截供給水中可能存在的微小顆粒雜質(zhì)，保護(hù)EDI組件的穩(wěn)定運行。

12.EDI裝置

通常是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混合離子交換技術(shù)（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的去離子水。EDI技術(shù)與混合離子交換技術(shù)相比有如下優(yōu)點:

濃水室使用樹脂填充技術(shù)，從而無需循環(huán)泵和鹽水注入；

系統(tǒng)簡單，操作簡便；

可靠性高；

良好的電氣絕緣性；

100psi(7bar),45°C條件下連續(xù)運行；

低成本運行效果明顯；

雙"O"型圈密封，保證無泄漏運行；

EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI組件中將一定數(shù)量的EDI單元間用網(wǎng)狀物隔開，形成濃淡水室。又在單元組兩端設(shè)置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進(jìn)入到濃水室而在淡水室中去除，而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng)，成為濃水。

EDI設(shè)備一般以反滲透（RO）純水作為EDI給水。RO出水電導(dǎo)率一般是20-1μS/cm（25℃）。EDI出水電阻率可以高達(dá)18MΩ*cm(25℃)以上，實際運行初期EDI的出水電阻率≥17MΩ*cm，后期緩慢下降到15MΩ*cm以上。根據(jù)去離子水用途和系統(tǒng)配置設(shè)置，EDI純水適用于制備電阻率要求在5-18.2MΩ*cm(25℃)的純水。EDI技術(shù)被制藥工業(yè)、微電子工業(yè)、發(fā)電工業(yè)和實驗室所普遍接受。在表面清洗、表面涂裝、電解工業(yè)和化工工業(yè)的應(yīng)用也日趨廣泛。

EDI進(jìn)水水質(zhì)要求：

電導(dǎo)率40-2μS/cm（25℃）

PH值5－9

進(jìn)水壓力1.4～7Bar

總硬度<1.0 mg/L as CaCO3

硅<0.5 mg/L

溫度4～45℃

溶解性有機(jī)物TOC<0.5 mg/L

余氯<0.05 mg/L

鐵、錳<0.01mg/L

Fe，Mn，H2S<0.01 mg/L

TEA<25 mg/L

硅<1.0mg/L

根據(jù)此用戶需水量及整個制水系統(tǒng)的水量平衡，EDI電除鹽裝置設(shè)計產(chǎn)能為2.0m3/h。EDI裝置上配備有足夠的能直觀反映裝置運行狀態(tài)的在線儀表及化學(xué)儀表，包括：壓力表、流量計、電導(dǎo)率、電阻率等，設(shè)置就地控制盤。EDI膜堆選用麥克尼斯公司生產(chǎn)的專業(yè)型膜堆，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定，深度提純脫鹽，回收率達(dá)到90%以上。

13.超純水箱

用于儲存EDI產(chǎn)水，電阻率≥15MΩ*cm。水箱配水位控制器；當(dāng)水位低時自動啟動EDI增壓泵；水位高時自動停止EDI增壓泵；同時與超純水泵聯(lián)動，當(dāng)水箱處于低水位時自動鎖定，超純水泵不能啟動。

14.超純水泵（輸送泵）

超純水箱內(nèi)的純水，向終端處理設(shè)備提供穩(wěn)定運行所需要的供水壓力和流量。為避免供水水壓和流量的波動帶來的對供水水質(zhì)的影響。

15.微孔膜過濾器（精密過濾器的一種，常選用0.1/0.22μm）

主要是除去通過紫外線殺菌器（UV殺菌器和TOC殺菌器）后，攔截水中的細(xì)菌的雜質(zhì)，還可以攔截不當(dāng)脫落的混床樹脂。

16.使用點

電阻率18MΩ*cm以上的超純水，極容易接觸空氣而降低電阻率，所以一般采用即時制備即時使用的方式，管道直接連接使用點，而不設(shè)置額外的超純水箱。

設(shè)備技術(shù)規(guī)格參數(shù)匯總

總結(jié)：完整的方案設(shè)計，需要理論和實踐經(jīng)驗的結(jié)合，充分考慮設(shè)備前期成本和長期運行成本。上述內(nèi)容如有邏輯錯誤，計算錯誤的隨時歡迎指出，以備及時改正。